Подложки для пленок графена научились производить в России

Как утверждают в «Росэлектронике», качество подложек не уступает лучшим зарубежным аналогам.

Такие подложки могут быть использованы в том числе для создания пленок графена, которые считаются наиболее перспективным материалом в качестве основы компонентной базы будущей микроэлектроники и возможной заменой кремния в интегральных микросхемах. Сравнение параметров разработанных подложек с параметрами американских аналогов показывает, что продукция ОАО «Светлана» находится на мировом уровне, например, американского аналога Grade M (для военных применений) и существенно превышают параметры Grade R&D (для исследовательских целей), отмечают в холдинге.

Объем финансирования разработок составил 285 млн рублей, в том числе 190 млн рублей – за счет федерального бюджета. Производство оснащено двумя установками роста монокристаллов; станками округления монокристаллов, шлифовки, полировки и химико-механического полирования подложек, а также метрологическим оборудованием для измерения геометрических размеров и удельного сопротивления подложек.

В настоящее время ОАО «Светлана» готово начать поставки подложек полуизолирующих карбида кремния политипа 6Н диаметром 3 дюйма для российских потребителей, при этом цены подложек существенно ниже, чем у других производителей, заявляют в холдинге. Основными потребителями разработанных подложек будут предприятия и организации-производители гетероструктур: например, ЗАО «Светлана-Рост», ЗАО «Элма-Малахит», ФТИ им. А.Ф. Иоффе РАН, Сибирское отделение РАН.

Основные направления научно-производственной деятельности ОАО «Светлана» – разработка и производство полупроводниковых приборов и интегральных схем; оптоэлектронных и светотехнических приборов; микроволновых приборов; рентгеновских трубок всех классов и назначений; генераторных и модуляторных ламп; приемно-усилительных ламп для аудиотехники класса Hi-Fi; технологического оборудования.

Фото: ОАО «Светлана»



Оцените статью
Добавить комментарий